近日，中電科風(fēng)華信息裝備股份有限公司推出首款具備完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的第三代半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備—Mars 4410。目前，該設(shè)備已陸續(xù)發(fā)往國(guó)內(nèi)多家客戶進(jìn)行使用。
Mars 4410是碳化硅器件產(chǎn)線中的關(guān)鍵裝備，用于對(duì)碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測(cè)。設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)兩年不懈努力，攻克了激光散射、顯微成像等光學(xué)檢測(cè)核心關(guān)鍵技術(shù)。
設(shè)備采用差分干涉相襯、光致發(fā)光、暗場(chǎng)等多種檢測(cè)手段，晶圓檢測(cè)可與數(shù)據(jù)分析并行處理，晶圓缺陷可與器件失效相關(guān)聯(lián)，具有低噪聲和高分辨率成像、高檢測(cè)通量、高檢出率和準(zhǔn)確性等優(yōu)勢(shì)，能滿足提升SiC器件良率的需求。
在國(guó)家及省、市產(chǎn)業(yè)政策支持引導(dǎo)下，中電科風(fēng)華加快技術(shù)攻關(guān)，推出碳化硅缺陷檢測(cè)設(shè)備，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，打破國(guó)際壟斷，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，積極響應(yīng)我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的迫切需求，解決了“卡脖子”技術(shù)難題。中電科風(fēng)華公司將會(huì)繼續(xù)致力于產(chǎn)業(yè)鏈自主化、國(guó)產(chǎn)化建設(shè)，為我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控和高質(zhì)量發(fā)展保駕護(hù)航!